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產(chǎn)品中心

賦能國家半導(dǎo)體智造

"麒麟"OHT

我們的產(chǎn)品

OHT(Overhead Hoist Transport):天車,是一種自動(dòng)化搬送裝置,能夠在空中軌道上行駛,實(shí)現(xiàn)物料在設(shè)備裝卸口之間的搬送;
WPS (Wireless Power Supply):非接觸式供電系統(tǒng),利用電磁感應(yīng)原理,通過無線(非接觸)方式向沿軌道移動(dòng)的設(shè)備傳輸電力的系統(tǒng);
OHTC(Overhead Hoist Transport Controller):天車控制系統(tǒng),管理在軌道上行駛的天車,采用先進(jìn)算法,功能全面,可實(shí)現(xiàn)1000+臺車集控;
OHB(Overhead Hoist Buffer):位于軌道下方,用于物料暫存,可改善產(chǎn)品Queue time,提高產(chǎn)量。

我們的優(yōu)勢

采用道達(dá)自研WPS非接觸式供電,技術(shù)領(lǐng)先;
采用自研邊緣計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)控制,可存儲地圖和計(jì)算路徑;
自研OHT控制系統(tǒng),支持1000臺以上OHT控制;
全系統(tǒng)采用冗余設(shè)計(jì),包括電柜、網(wǎng)絡(luò)、服務(wù)器等。
WPS非接觸式供電系統(tǒng)

我們的產(chǎn)品

WPS(Wireless Power Supply):非接觸式供電技術(shù),是一種利用電磁感應(yīng)向搬送裝置傳輸電力而無需機(jī)械接觸的供電技術(shù),F(xiàn)AB潔凈室內(nèi)OHT等搬送裝置均通過此方式供電。

我們的優(yōu)勢

取電方式

無線取電,不產(chǎn)生火花、粉塵;
現(xiàn)取現(xiàn)用,無需充電等待;
支持短時(shí)間停電補(bǔ)償。

智能控制

實(shí)時(shí)監(jiān)控電流、電壓、溫度;
過流、過壓、過熱保護(hù);
支持fail over自動(dòng)切換機(jī)制;
兼容多種通訊協(xié)議。

體積重量

取電單元小巧,相同功率下,
重量不到電池的1/5;
無需背負(fù)坦克鏈,自由靈活。

電纜部署

沿軌道部署,不額外占用管路;
移動(dòng)負(fù)載軌跡全覆蓋,無需排隊(duì);
長度可擴(kuò)展,支持直線、曲線、埋地等多種安裝方式。
取電器類型
H取電器H取電器
E取電器H取電器
平板取電器H取電器
MCS物料傳輸控制系統(tǒng)

我們的產(chǎn)品

MCS(Material Control System):物料傳輸控制系統(tǒng) ,是一種實(shí)現(xiàn)物料自動(dòng)化搬送的系統(tǒng)。 系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)控工廠AMHS設(shè)備狀態(tài),從上位系統(tǒng)(MES or RTD)接收傳送指令,計(jì)算最優(yōu)搬送路徑, 拆解并下發(fā)傳送指令給各AMHS控制器,實(shí)現(xiàn)物料的自動(dòng)化搬送。

解決的問題

工廠內(nèi)AMHS(Stocker,Lifter,OHT,AGV等)設(shè)備自動(dòng)化搬送;
工廠物流搬送cycle time統(tǒng)計(jì),稼動(dòng)率分析,便于改善搬送效率;

我們的優(yōu)勢

面向標(biāo)準(zhǔn)SECS/GEM AMHS裝備的快速部署;
具備非SECS/GEM裝備的客制化集成部署;
自研OHTC/AGVC/STKC/LFTC/CVC等單元控制系統(tǒng);
整合國內(nèi)外多家廠商OHT/STK/LFT/AGV;
Stocker 工廠存儲設(shè)備

我們的產(chǎn)品

Stocker:是一種在高潔凈度車間使用的物料存儲設(shè)備,能夠自動(dòng)完成FOUP的搬送及存儲保管需求, 保證晶圓有序安全的生產(chǎn)??蓪?shí)時(shí)查詢并更新FOUP位置并反饋至自動(dòng)化物料控制系統(tǒng),支持與設(shè)備間的自動(dòng)化搬送。
technicalSpeciations

我們的優(yōu)勢

采用自研WPS非接觸式供電,無粉塵產(chǎn)生,保證潔凈度;
自研晶圓機(jī)器人,國產(chǎn)化率高;
節(jié)拍快,存儲效率高,最大吞吐量可達(dá)到225盒/小時(shí);
自研晶圓機(jī)器人,國產(chǎn)化率高;
STOCKER
Tower(Lifter) 工廠存儲設(shè)備

我們的產(chǎn)品

Tower/Lifter:是一種在高潔凈度車間使用的跨樓層垂直輸送設(shè)備。

解決的問題

直接搬送晶圓盒,可與人工/AGV/CV/STK等自動(dòng)化設(shè)備直接對接,提升跨樓層晶圓傳送效率;
振動(dòng)小,動(dòng)作穩(wěn)定,保證物料安全;
掌握符合潔凈工廠要求的材料選用與表面處理方法,保證潔凈度。
STOCKER
RGV無線供電軌道運(yùn)輸車

我們的產(chǎn)品

RGV(Rail Guide Vehicle):軌道制導(dǎo)小車,采用非接觸式供電,實(shí)現(xiàn)多種物料在不同設(shè)備之間運(yùn)輸和上下料。

解決的問題

實(shí)現(xiàn)多種載具的自動(dòng)搬運(yùn)及自動(dòng)上下料;
提升產(chǎn)線設(shè)備稼動(dòng)率,實(shí)現(xiàn)7*24h作業(yè);
自動(dòng)作業(yè)從根本上減少人員帶來的污染,搬運(yùn)穩(wěn)定安全,振動(dòng)值小,保障產(chǎn)品質(zhì)量;
滿足快節(jié)拍的傳送需求,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能最大化。

我們的優(yōu)勢

采用WPS非接觸式供電(軌道與地板持平),潔凈度高,免維護(hù);
搬送高效,最大傳送速度可達(dá)2m/s;
走道寬度要求低(單行:600mm,并行:1200mm);
柔性高,適應(yīng)不同設(shè)備,不同載具的搬運(yùn)和上下料。
AMR自主移動(dòng)機(jī)器人

我們的產(chǎn)品

AMR (Autonomous Mobile Robot) :自主移動(dòng)機(jī)器人,是一種加裝協(xié)作機(jī)器人的物料傳送設(shè)備,實(shí)現(xiàn)多種載具的自動(dòng)搬運(yùn)及設(shè)備上下料(夾爪、機(jī)械手臂、開合機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì))。

解決的問題

實(shí)現(xiàn)多種載具的自動(dòng)搬運(yùn)及自動(dòng)上下料,代替人工,降低人工作業(yè)強(qiáng)度,緩解工廠招工難問題;
提高工廠搬運(yùn)節(jié)拍,提升產(chǎn)線設(shè)備稼動(dòng)率,實(shí)現(xiàn)全天作業(yè);
自動(dòng)作業(yè)從根本減少人員帶來的污染,搬運(yùn)穩(wěn)定安全,振動(dòng)值小,保障產(chǎn)品質(zhì)量。

我們的優(yōu)勢

提供多種配置選型,品類豐富,支持多種物料/載具的搬運(yùn)和夾取;
支持各種非標(biāo)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)及集成,提供一體化的解決方案;
支持對老舊機(jī)臺進(jìn)行改造并實(shí)現(xiàn)與AMR的對接。
AMHS自動(dòng)化物料搬運(yùn)生態(tài)

Dummy Load port

Dummy Load port :用于對接天車

人員通過此load port 將載具從空中緩存(OHB)傳出或?qū)⑤d具手動(dòng)傳上OHB。

E-rack:電子貨架

是在高潔凈度車間使用的線邊物料存儲設(shè)備,具有讀碼和自動(dòng)監(jiān)測儲位功能。

NTB( Near tool Buffer )

一種物料存儲設(shè)備,置于設(shè)備端作為該設(shè)備的專屬小型stocker。

OHB N2

OHB N2(Overhead Hoist Buffer N2 Charger):空中氮?dú)獬錃庠O(shè)備,用于降低FOUP內(nèi)濕度和氧氣。

E84:通訊模塊,是免焊接的Load port信號偵聽模塊。