Dummy Load port :用于對接天車
人員通過此load port 將載具從空中緩存(OHB)傳出或?qū)⑤d具手動(dòng)傳上OHB。
是在高潔凈度車間使用的線邊物料存儲設(shè)備,具有讀碼和自動(dòng)監(jiān)測儲位功能。
一種物料存儲設(shè)備,置于設(shè)備端作為該設(shè)備的專屬小型stocker。
OHB N2(Overhead Hoist Buffer N2 Charger):空中氮?dú)獬錃庠O(shè)備,用于降低FOUP內(nèi)濕度和氧氣。
E84:通訊模塊,是免焊接的Load port信號偵聽模塊。